論文ニュース【on 29, June, 2022 】

　修士課程2年次生の宮武佑多君が第1著者、修士課程1年次生の小澤雪斗君が第2著者の研究論文がアメリカ真空学会誌 Journal of Vacuum Science & Technology A 誌に掲載されました。京都大学との共同研究成果です。絶縁体-金属転移を示すVO₂薄膜のフレキシブルポリイミド膜上への堆積に挑み、良好な結晶成長を実現し、3桁近い抵抗率変化を示すIMTを実現した成果です。石英上に成膜したポリイミド膜をVO₂薄膜堆積後に剥離することでスタンドアローンなフレキシブルVO₂膜を実現しました。本成果をベースに今後、柔軟なIMT材料の応用を促進していきます。

Yuta Miyatake, Yukito Ozawa, Kunio Okimura, and Toshihiro Nakanishi, VO₂ films on flexible thin polyimide films: Fabrication and characterization of electrical and optical properties in insulator-metal transition, J. Vac. Sci. Technol. A 40, 043406 (6 pages) (2022).

研究室ニュース【on 27, May, 2022 】

10名の新しい卒研生が研究室に加わりました。今後、グループ毎に卒研テーマに取り組んで行きます。また、タイ王国・KMITL(King Mongkut’s Institute of Technology Ladkrabang)より2名の留学生が来日し、5/26から沖村研究室でラボトレーニングを開始しました。6月一杯電子材料薄膜の作製と評価に取り組みます。写真下段左から1人目が留学生のToonさん、2人目が留学生のNumさんです。皆様共に頑張りましょう！

論文ニュース 【on 26, May, 2022 】

沖村研究室と産総研、大阪大学、京都大学、信州大学との共同研究成果がDe Gruiter発行のNanophotonics誌に掲載されました。最近、様々な応用が期待されているテラヘルツ波の伝搬特性を制御するメタサーフェスに相転移を発現するVO₂薄膜を組み込むことで、キラリティの動的反転制御を実現した研究成果です。2022年1月11日にオンライン公表されました。

Yoshiro Urade, Kai Fukawa, Fumiaki Miyamaru, Kunio Okimura, Toshihiro Nakanishi, Yosuke Nakata, Dynamic inversion of planar-chiral response of terahertz metasurface based on critical transition of checkerboard structures, Nanophotonics, Vol. 11, pp. 2057-2064 (2022).

研究室ニュース【on 25, March, 2022 】

2022年3月25日に秋学期卒業式が開催され、沖村研の7名の卒研生が卒業証書を授与されました。皆様、おめでとうございます！今後、学士（工学）として社会人や大学院生として新たな活動をスタートします。卒業研究で学んだことを生かして飛躍して下さい。

令和3年度卒業研究発表会【on 15, Feb., 2022 】

2022年2月15日に卒業研究発表会がオンライン開催され、卒研生7名が最終発表を終えました。1年間という短い期間の中で個々の課題に取り組んだ成果が発揮されたと思います。お疲れさまでした！卒業研究の発表者とタイトルを以下に記載します。

● 栗原 大空, Saparmyradov Nurgeldi：透明導電性AlドープZnO薄膜堆積に関する研究

● 吉野 洋勝, 加藤 祐輔：VO₂/／ZnO／glassのスマートウィンドウ性能向上に関する研究

● 小澤 雪斗：フレキシブル基板上へのVO₂薄膜成長と電気的特性評価 　　　　　　　　　　　　

● 大貫 卓斗：カルコゲナイド相変化膜堆積によるVO₂薄膜の不揮発メモリー性の実現 　　　　　　　　　　　　

● 住田 雄紀：LTspiceによるVO₂薄膜の電圧印加スイッチングに関する研究 　　　　　　　　　　　　　　　　

12th Annual ISAJ Symposium 2021 で沖村教授が招待講演を行いました　【on 27, Nov., 2021】

2021年11月27日に開催されたISAJ (Indian Scientists Association in Japan) 2021会議において、沖村教授が招待講演を行いました。講演題目は「Smart windows for energy savings and emerging technologies utilizing vanadium dioxide films with insulator-metal transition」であり、酸化物(VO₂)薄膜コーティングを施したスマートウィンドウによる赤外光透過率の調光機能及びテラヘルツ波の透過制御への応用技術に関する内容を纏めたものです。世界トップレベルの14%以上の光スイッチング指数(ΔTsol)の実現は省エネルギー窓実現に貢献する成果です。研究室では今後も研究発展を目指して活動していきます。

学会発表ニュース 【on 3, Nov., 2021】

2021年11月3～5日に開催された2021年日本表面真空学会学術講演会において、沖村邦雄教授が口頭発表を行いました。今年もオンライン開催でしたが、多くの来場者と活発な議論を交わしました。

沖村邦雄，宮武佑多, 中西俊博「ポリイミド上へのVO₂薄膜成長と剥離後の電気的特性評価 」, 2021年日本表面真空学会学術講演会 1Dp08.

論文ニュース 【on 5, Nov., 2021 】

沖村研究室と大阪大学、京都大学、信州大学との共同研究成果がWiley発行のAdvanced Optical Materials誌に掲載されました。最近、様々な応用が期待されているテラヘルツ波の伝搬特性を制御するメタサーフェスに相転移を発現するVO₂薄膜を組み込むことで、更なる機能性、制御性向上を実現した研究成果です。2021年11月5日にオンライン公表されました。

Mitsuki Kobachi, Fumiaki Miyamaru, Toshihiro Nakanishi, Kunio Okimura, Atsushi Sanada, and Yosuke Nakata, Dynamic Quarter-Wave Metasurface for Efficient Helicity Inversion of Polarization Beyond the Single-Layer Conversion Limit, Advanced Optical Materials, Vol. 9, 2101615 (9 pages)(2021).

研究室ニュース【on 25, Sep., 2021 】

2021年9月25日に春学期卒業式が開催され、本研究室のラミサ ホックさんが総長賞を授与されました。ラミサさんが電気電子工学科において極めて優秀な成績を収め、卒業研究にも熱心に取り組んだ姿勢が評価されました。ラミサさん、おめでとうございます。ラミサさんは大学院に進学して勉学と研究活動を継続されます。

学会発表ニュース【on 21, Sep., 2021 】

2021年9月21日に開催された2021年度第82回秋季応用物理学会において、修士1年の宮武 佑多君がポスター発表を行いました。今回もオンライン実施でしたが多くの来場者があり活発な議論を交わしました。

宮武佑多，沖村邦雄，中西俊博「ポリイミド膜上へのVO₂薄膜成長と電気的特性評価 」, 第82回応用物理学会秋季学術講演会, 21a-PO1-1

令和3年度修士論文発表会

2021年8月3日に修士論文発表会がオンライン開催され、修士2年のKrishnakumar Akshay君とThilagarani Dinesh Krishna君の2名が最終発表を終えました。Akshay君とDinesh君はインド・サストラ大学を卒業後に本学・工学研究科修士課程に入学され、途中コロナ禍で長期間に亘って実験ができない苦難に見舞われながらも、修士論文発表及び論文執筆を成し遂げました。両君の今後の活躍を期待しています。修士論文のタイトルは以下の通りです。

Krishnakumar Akshay：Association of Pesticide Exposure with Neurodegenerative disorders

Thilagarani Dinesh Krishna：Wireless In-situ Temperature Measurement Using In-Contact Thin-Film Sensors

令和3年度卒業論文発表会

2021年7月30日に卒業論文発表会がオンラインで開催され、ラミサ ホックさんが卒論発表を終えました。コロナの影響下、LTSpiceシミュレーションも併用して研究を進めた成果を卒論として纏めたものです。お疲れ様でした！ 　　　　　　　　　　　　

ラミサ ホック：LTspice回路シミュレータによる 二酸化バナジウム 薄膜 の電圧 印加スイッチングに基づく発振現象に関する研究 　　　　

論文ニュース

　修士課程2年次生のAkshay Krishnakumar君が筆頭著者の研究論文がSpringer発行の国際ジャーナル誌 Water, Air, and Soil Pollution誌に掲載されました。積層酸化物薄膜をベースとする電気化学的手法による河川中の特定化学物質の高感度検出法を纏めた論文で、インド・SASTRA Deemed University及び本学のマイクロ・ナノ研究開発センターとの共同研究成果です。Akshay君の今後益々の活躍が期待されます。

Akshay Krishnakumar, Parthasarathy Srinivasan, Ganesh Kumar Mani, Rio Kita, Kunio Okimura, John Bosco Balaguru Rayappan, Kazuyoshi Tsuchiya, Electrochemical Probing of H₂O₂ Using TiO₂-ZrO₂-HfO₂ Modified Glassy Carbon Electrode: A Promoted Sacrificial Behavior of Hf 4+ ions, Water, Air, and Soil Pollution 232, 262 (14 pages) (2021).

論文ニュース

　沖村研究室とICN2(スペイン)、産総研、東北大学との共同研究成果がアメリカ真空学会誌 Journal of Vacuum Science & Technology A 誌に掲載されました。サファイア基板上への絶縁体-金属転移を示すVO₂薄膜堆積において、6 ～10 nmの極薄膜において良好な結晶成長を実現し、極薄膜の高い光学透過率と2桁以上のIMTを両立したものです。従来、反応性スパッタ成膜法では界面にミキシング層が形成され極薄膜成長は難しいと考えられていますが、成膜時に適切な入射イオンエネルギーを付与することで良好な成長が実現できました。本成果をベースに今後最適な膜厚を踏まえた応用展開を図っていきます。

K. Okimura, J. Sakai, M. Kuwahara, M. Zaghrioui, and Y. Uehara, J. Vac. Sci. Technol. A 39, 043401 (9 pages) (2021).

研究室ニュース

7名の新しい卒研生が研究室に加わりました。今後、グループ毎に卒研テーマに取り組んで行きます。

令和2年度修士論文発表会

2021年2月19日に修士論文発表会が開催され、修士2年の今泉君、陳君、村上君の3名が無事に発表を終え、今年度開催の卒論発表と同じくオンラインでの開催となりました。修士において2年という短い研究活動期間の中、未解決の課題が残りましたが我が研究室の次の世代に引き継ぐための十分な成果が得られました。ここから、どう発展していくか非常に楽しみだと思います。お疲れさまでした！修士論文のタイトルを以下に記載します。

今泉悟：アルミナコート内部コイルICP支援スパッタ法によるAlドープZnO薄膜堆積に関する研究

陳飛：TiO₂コーティングによるVO₂/ZnO/glass積層構造スマートウィンドウの光学特性改善に関する研究

村上祥慶：フレキシブル基板上へのVO₂薄膜成長及び電気的特性評価

令和2年度卒業論文発表会

2021年2月17日に卒業論文発表会がオンラインで開催され、5名が卒論発表を終えました。今年は新型コロナウイルス (COVID-19)により大学への入校が限られてる中、研究内容をまとめ、多くの来場者と活発な議論を交わしました。短い研究活動の中、満足のいく結果が得られなかった方々が多いと思いますが、その中で一つでも役立つものを得られたのであれば、それが自分自身への十分な成果となるでしょう。お疲れさまでした！

11th Annual ISAJ Symposium 2020 (Web. Conference)で沖村教授が招待講演を行いました

2020年12月4日に開催されたISAJ (Indian Scientists Association in Japan) 2020会議において、沖村教授が招待講演を行いました。講演題目は「Smart windows for energy savings utilizing vanadium dioxide films with insulator-metal transition」であり、酸化物(VO₂)薄膜コーティングを施したスマートウィンドウによる赤外光透過率の調光機能に関する内容を纏めたものです。ZnOナノロッドバッファー導入による世界トップレベルの14%以上の光スイッチング指数(ΔTsol)の実現は参加者の注目を集めました。聴講者からはVO₂やZnOに関する多くの質問が寄せられました。研究室では今後も研究発展を目指して活動していきます。

学会発表ニュース

2020年11月19日～11月21日に開催された2020年日本表面真空学会学術講演会において、11月19日に修士2年の陳君、今泉君がポスター発表、11月20日には2年の村上君が口頭発表を行いました。今年は新型コロナウイルス (COVID-19)によりオンラインでの実施でしたが、多くの来場者と活発な議論を交わしました。

陳飛，沖村邦雄，山口巌，土屋哲男,「TiO₂層導入によるVO₂/ZnOナノロッド/glass構造スマートウィンドウの可視光透過率向上」, 2020年日本表面真空学会学術講演会　プログラム, 1P64.

今泉悟，中村忠，沖村邦雄，モハメッド シュルズミヤ「アルミナコート内部コイルICP支援スパッタ法によるAlドープZnO薄膜物性の径方向分布改善に関する研究」, 2020年日本表面真空学会学術講演会　プログラム, 1P81S.

村上祥慶，沖村邦雄，中西俊博「ポリイミド上へのVO₂薄膜成長及び剥離前後における電気的特性評価 」, 2020年日本表面真空学会学術講演会　プログラム, 2Ep07.

論文ニュース

沖村研究室とICN2(スペイン)、産総研、東北大学との共同研究成果がMaterials誌に掲載されました。通常68℃付近で相転移を発現して絶縁体-金属転移を示すVO₂薄膜と光記録材料のカルコゲナイド系3元化合物薄膜GST(Ge₂Sb₂Te₅)の積層構造を作製し、GST膜の相変化による₂薄膜の転位温度制御を目指した研究です。GST膜の結晶化時の収縮に伴いVO₂薄膜の転移温度の低温シフトが生じることを示しました。今後も共同研究を継続していきます。

J. Sakai, M. Kuwahara, K. Okimura, and Y. Uehara, Stress-Induced In Situ Modification of Transition Temperature in VO2 Films Capped by Chalcogenide, Materials Vol. 13, 5541 (11pages) (2020).

論文ニュース

沖村研究室と京都大学との共同研究成果がアメリカ物理学協会のApplied Physics Letters誌に掲載されました。最近、様々な応用が期待されているテラヘルツ波の伝搬特性を制御するメタサーフェスに相転移を発現するVO₂薄膜を組み込むことで、更なる機能性、制御性向上を実現した研究成果です。2020年9月1日にオンライン公表されました。

Toshihiro Nakanishi, Yosuke Nakata, Yoshiro Urade and Kunio Okimura, Broadband operation of active terahertz quarter-wave plate achieved with vanadium dioxide based metasurface switchable by current injection, Appl. Phys. Lett. Vol. 117, 091102 (5pages) (2020).

論文ニュース

今春修士課程を修了した戸部龍太君が第1著者、研究室OBの成蹊大・モハメッドシュルズミヤ氏が第2著者の研究論文がアメリカ物理学協会の Journal of Applied Physics誌に掲載されました。導電性のITO基板上へ二酸化バナジウム(VO₂)薄膜を堆積し、VO₂薄膜の電圧印加スイッチングにおける負性抵抗特性に起因する自励発振現象に基づく２つの発振回路容量結合時の協調発振現象について実験とシミュレーションの両面から調べた成果を纏めたものです。本研究では電圧印加時のスイッチング特性をモデル化してVO₂を回路素子として取り込むことでシミュレーション上で協調発振の複数の動作モードを再現し、それらの発現メカニズムを明らかにしました。

Ryuta Tobe, Md. Suruz Mian, and Kunio Okimura, Coupled oscillation of VO₂-based layered structures: Experiment and simulation approach, J. Appl. Phys. Vol. 127, 195103 (8pages) (2020).

論文ニュース

今春修士課程を修了した福住達郎君が第1著者、修士課程2年生の陳飛君が第2著者の研究論文がアメリカ真空学会誌 Journal of Vacuum Science & Technology A誌に掲載されました。夏季の温度上昇時に赤外光入射を自動的に遮蔽し、冬季は可視光、赤外光共に透過させるスマートウィンドウへ二酸化バナジウムを応用した成果を纏めたものです。本研究ではガラス上に酸化亜鉛ナノロッドを化学合成法で成長させることで結晶性に優れる非常に薄い(～20 nm)バナジウム酸化膜の堆積に成功しました。本研究は産総研との共同研究成果です。

Tatsuro Fukuzumi, Fei Chen, Kunio Okimura, Iwao Yamaguchi, and Tetsuo Tsuchiya, Simultaneous realization of infrared-light switching and high visible-light transmittance in extremely thin VO₂ films grown on ZnO-nanorods buffered glasses, J. Vac. Sci. Technol. A Vol. 38, 033407 (7pages) (2020).

令和元年度卒業論文発表会

2020年2月14日に卒業論文発表会が開催され、8名が卒論発表を終えました。1年間の研究活動において思い通りに進まなかったり納得の行かない結果になったとしても、同じメンバーと協力し考え行動に移した過程及びその成果をまとめた発表の経験は社会に出ても役に立つはずです。それぞれ進む道は違っても記憶に残る経験となるでしょう。お疲れさまでした！

2020年2月14日　謝恩会にて

令和元年度修士論文発表会

2020年2月13日に修士論文発表会が開催され、修士2年の諏訪君、戸部君、福住君の3名が無事に発表を終えました。3名の研究成果は我が研究室の次の世代に引き継ぐ素晴らしい物となるでしょう。お疲れさまでした！修士論文のタイトルを以下に記載します。

諏訪爺紀：マグネトロンスパッタ法によるAlドープZnO薄膜堆積における径方向分布改善に関する研究

戸部龍太：積層型VO₂デバイスの協調発振現象及び回路シミュレーションに関する研究

福住達郎：ZnOナノロッド/glass上へのVO₂薄膜成長及び光学特性に関する研究

発表者 諏訪君(左) 戸部君(中央) 福住君(右)

学会ニュース

2019年12月20～12月24日に神奈川県、横浜シンポジウムで開催されたMaterials Research Meeting 2019 (MRM2019)に修士課程2年の戸部君が12日(14:00 - 15:30)にポスター発表を行い、今までの研究成果を元に多くの来場者と活発な議論を行いました。

R. Tobe, K. Okimura and Md. Suruz Mian 「Coupled Oscillation of VO₂ Layered Devices without Coupling Capacitor」Materials Research Meeting 2019, H3-12-P26

発表者 戸部君

学会ニュース

2019年11月21～11月22日に広島県、JMSアステールプラザで開催されたThe 41th International Symposium on Dry Process (DPS 2019) に修士課程2年の諏訪君、戸部君がポスター発表を行い、多くの来場者と活発な議論を行いました。

R. Tobe, K. Okimura and Md. Suruz Mian 「Growth of VO₂ thin films on conductive ITO layers by ICP-assisted sputtering and their electrical switching properties」Proceedings of 41th International Symposium on Dry Process, P-53

T. Suwa, T. Nakamura and K. Okimura 「Effect of in-situ post-annealing on the resistivity profile of Al-doped ZnO films in magnetron sputtering」Proceedings of 41th International Symposium on Dry Process, P-55

学会発表ニュース

2019年10月28日～10月30日につくば国際会議場で開催された2019年 日本表面真空学会学術講演会において、10月28日に修士2年の諏訪君、戸部君、1年の陳君、10月29日には1年の今泉君がポスター発表を行いました。

陳飛，福住達郎，沖村邦雄,「光学設計による VO₂/ZnO ナノロッド/glass 積層構造スマートウィンドウの可視光透過率の改善」, 2019年日本表面真空学会学術講演会　プログラム, 1P22.

戸部龍太，沖村邦雄，モハメッド シュルズ ミヤ,「ICP支援スパッタ法による VO₂/ITO 積層素子の作製と電気特性」, 2019年日本表面真空学会学術講演会　プログラム, 1P37.

諏訪翁紀，今泉悟，中村忠，沖村邦雄,「透明導電性AlドープZnO薄膜の径方向分布に及ぼすその場アニールの効果」, 2019年日本表面真空学会学術講演会　プログラム, 1P45.

今泉悟，福住達郎，諏訪翁紀，沖村邦雄「ZnOバッファー層上へのAl-doped ZnO薄膜の堆積と評価」, 2019年日本表面真空学会学術講演会　プログラム, 2P52.

(右)発表者 今泉君

学会発表ニュース

2019年9月18日(水)～21日(土) に北海道大学　札幌キャンパスで開催された第80回応用物理学会秋季学術講演会において修士課程2年の諏訪君、戸部君、福住君、1年の陳君がポスター発表を行いました。多くの来場者と活発な議論を交わしました。

陳 飛, 福住 達郎, 沖村 邦雄 「HMTAによるc軸配向ZnOナノロッドの成長過程に関する研究」, 第80回応用物理学会秋季学術講演会予稿集, 18p-PA5-10.

諏訪 翁紀, 中村 忠, 沖村 邦雄「スパッタ成膜後のその場アニールによるglass基板上AlドープZnO薄膜の特性改善効果」, 第80回応用物理学会秋季学術講演会予稿集, 21a-PA2-22.

戸部 龍太, 沖村 邦雄, モハメッド シュルズ ミヤ「積層型VO₂デバイスのシミュレーションモデル作製と協調発振現象への適用」, 第80回応用物理学会秋季学術講演会予稿集, 21a-PA2-15.

福住 達郎, 沖村 邦雄「ZnOナノロッド/glass上へVO₂薄膜成長及び光学特性(Ⅲ) 」, 第80回応用物理学会秋季学術講演会予稿集, 21a-PA2-14.

　　　

令和元年度卒業研究発表会

2019年8月2日に卒業研究発表会が開催され、秋学期終了の4BEI2111のアルナクリ アハマドナ君(Alnakhli Ahmed Nasser A)が卒研発表を終えました。研究活動や、その成果をまとめた発表の経験は社会に出ても役に立つはずです。お疲れさまでした！

　　　　

【発表者】アルナクリ アハマドナ君(Alnakhli Ahmed Nasser A)

タイ王国モンクット王工科大学(KMITL)から留学生が来訪しラボトレーニングを行いました

東海大学と提携を結んでいるタイのモンクット王ラカバン工科大学(KMITL:King Mongkut’s Institute of Technology Ladkrabang)の学部生がラボトレーニングプログラムにより本学に留学しました。今回、沖村研究室ではMost君とKukkikさんが活動に加わりました。本研究室で扱っているAZO(Alドープ酸化亜鉛)薄膜について4端子法を用いた抵抗率測定やホール効果測定などを行い、主に電気的特性を評価しました。そして最終日の7月5日にそれらの結果をまとめ、発表しました。滞在中は研究室メンバーといっしょに昼食を取ったり交流を深めました。Most君とKukkikさんの今後の活躍を期待しています。

　　　

学会ニュース

修士課程2年の諏訪君が6月12～14日に金沢で開催されたThe 15th International Symposium on Sputtering & Plasma Process 2019に参加し学会発表を行いました。多くの来場者と活発な議論を交わし、今後の課題や改善点を明確にすることができました。

T. Suwa, S. Imaizumi, T. Nakamura and K. Okimura : Effects of in-situ post annealing on the resistivity of Al-doped ZnO films prepared by rf magnetron sputtering, Proceedings of the 15th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP 2019) pp. 193-195. (14, June, Kanazawa Institute of Technology, 2019).

　　　　

論文ニュース

修士課程2年の戸部龍太君及び沖村教授が執筆した研究論文(研究紹介)が日本表面真空学会の機関紙"表面と真空"に掲載されました。導電性TiN上に堆積したバナジウム酸化膜への電圧印加によって1 MHz以上の高周波自励発振現象を発現させる一連の研究について纏めたものです。本研究は本年3月に修士課程を修了した青戸智寛君と2016年9月に博士課程を修了したモハメッド シュルズ ミヤ氏との共同研究成果です。

沖村邦雄, 青戸智寛, 戸部龍太, モハメッド シュルズ ミヤ, バナジウム酸化物薄膜の絶縁体－金属 転移に基づく自励発振現象, 表面と真空 Vol. 62, No.6, pp. 332-337 (2019).

論文ニュース

今春修士課程を修了した松岡君が第1著者の研究論文がJournal of Applied Physics誌に掲載されました。バナジウム酸化膜の構造相転移において通常の低温絶縁相であるM1相とは異なるV原子鎖構造を有するM2相がスパッタ成膜によってサファイアc面基板上に成長したバナジウム酸化膜において70～100℃という広い温度範囲に亘って発現する結果を纏めたものです。本研究はフランス及びスペインの研究機関との共同研究成果です。

Kohei Matsuoka, Kunio Okimura, Nurul Hanis Azhan, Mustapha Zaghrioui, and Joe Sakai, Persistent M2 phase in strongly strained (011)-oriented grains in VO₂ films grown on sapphire (001) in reactive sputtering, J. Appl. Phys. Vol. 125, 165304 (7pages) (2019).

論文ニュース

沖村教授が共著の研究論文がPhysical Review Applied誌に掲載されました。本研究は京都大学他の研究グループとの共同研究成果です。

Y. Nakata, K. Fukawa, T.Nakanishi, Y. Urade, K. Okimura, and F. Miyamaru, Reconfigurable Terahertz Quarter-Wave Plate for Helicity Switching Based on Babinet Inversion of an Anisotropic Checkerboard Metasurface, Phys. Rev. Applied Vol. 11, 044008 (6pages) (2019).

研究室ニュース

8名の新しい卒研生が研究室に加わりました。今後、グループ毎に卒研テーマに取り組んで行きます。

　　　　　　　　　　　　　

平成30年度学部卒業式

2019年3月25日に学部卒業式が行われ、学部4年生が卒業しました。おめでとうございます！

　　　　

沖村教授、卒業生、大学院生

平成30年度大学院修了式

2019年3月24日に大学院修了式が行われ、青戸君、星野君、松岡君が大学院修士課程を修了しました。おめでとうございます！

　　　　

沖村教授、修了生(青戸君、星野君、松岡君)

学会発表ニュース

2019年3月9～3月12日に東京工業大学　大岡山キャンパスで開催された第66回応用物理学会春季学術講演会において修士課程2年の松岡君が口頭発表を行い、1年の諏訪君、戸部君、福住君がポスター発表を行いました。諏訪君の発表はPoster Award最終選考対象に選ばれました！　惜しくも受賞は逃しましたが、多くの来場者と活発な議論を交わしました。

松岡 耕平, 沖村 邦雄 「過酸化相を核とする再結晶を利用したSi基板上VO₂薄膜の配向成長 ―基板バイアス印加スパッタ法による再結晶化―」, 第66回応用物理学会春季学術講演会予稿集, 9a-W323-12.

諏訪 翁紀, 今泉 悟, 津田 和希, 中村 忠, 沖村 邦雄 「AlドープZnO薄膜の電気的特性の径方向分布に及ぼすスパッタRF電力及びHe希釈の効果」, 第66回応用物理学会春季学術講演会予稿集, 9p-PA4-22.

戸部 龍太, 沖村 邦雄, モハメッド シュルズ ミヤ「単一VO₂積層デバイスによる協調発振現象」, 第66回応用物理学会春季学術講演会予稿集, 9p-PA4-1.

福住 達郎, 伊藤 大樹, 児島 永悟, 陳 飛, 沖村 邦雄, 山口 巌, 土屋 哲男「ZnOナノロッド/glass上へのVO₂薄膜成長及び光学特性(Ⅱ)」, 第66回応用物理学会春季学術講演会予稿集, 9p-PA4-3.

発表者 諏訪君(右)

　　　　　　　　　　　　　　　　

平成30年度卒業論文発表会

2019年2月18日に卒業論文発表会が開催され、12名が卒論発表、1名が中間発表を終えました。1年間の研究活動や、その成果をまとめた発表の経験は社会に出ても役に立つはずです。お疲れさまでした！

　　　　

2019年2月18日　謝恩会にて

平成30年度修士論文発表会

2019年2月15日に修士論文発表会が開催され、修士2年の青戸君、星野君、松岡君の3名が無事に発表を終えました。お疲れさまでした！修士論文のタイトルを以下に記載します。

青戸智寛：TiN (111)配向基板上への相転移VO₂薄膜の配向成長と発振特性

星野寛明：基板バイアススパッタ法によるZnO/glass上VO₂薄膜の転移温度の低温化に関する研究

松岡耕平：基板バイアス印加法を用いたシリコン基板上への二酸化バナジウム薄膜の配向成長に関する研究

学会ニュース

2018年11月19～11月21日に神戸国際会議場で開催された2018年 日本表面真空学会学術講演会において、11月20日に沖村邦雄教授が依頼講演を行いました。講演題目は「バナジウム酸化物薄膜の絶縁体‐金属転移に基づく自励発振現象」であり、聴講者からは電圧印加による絶縁体‐金属転移や自励発振の高周波化などに対する質問が寄せられ、活発な議論となりました。また、11月19日、20日には修士2年の青戸君、星野君、松岡君、1年の諏訪君、戸部君、福住君がポスター発表を行いました。

(依頼講演) 沖村邦雄, 青戸智寛, 戸部龍太, モハメッド　シュルズ　ミヤ　「バナジウム酸化物薄膜の絶縁体‐金属転移に基づく自励発振現象」, 2018年日本表面真空学会学術講演会 講演要旨集, 2Dp05, p. 105.

　　

青戸智寛, 戸部龍太, 沖村邦雄　「基板バイアススパッタ法による導電性TiN層上への酸化バナジウムの堆積と発振特性評価」, 2018年日本表面真空学会学術講演会 講演要旨集, 1P36S, p. 72.

星野寛明, 沖村邦雄, 山口巖, 土屋哲男　「基板バイアススパッタ法による高エネルギーイオンが及ぼす ZnO/glass 上 VO₂の転位温度の低温化」, 2018年日本表面真空学会学術講演会 講演要旨集, 1P38S, p. 73.

松岡耕平, 沖村邦雄　「初期過酸化相成長後の基板バイアス印加スパッタ法によるSi基板上 VO₂薄膜の配向成長」, 2018年日本表面真空学会学術講演会 講演要旨集, 1P35S, p. 72.

諏訪翁紀, 今泉悟, 津田和希, 中村忠, 沖村邦雄　「スパッタリング法によるAlドープ ZnO 薄膜の電気的特性に及ぼす He ガス添加の効果」, 2018年日本表面真空学会学術講演会 講演要旨集, 1P50S, p. 79.

戸部龍太, 沖村邦雄　「ICP 支援スパッタ法による Al₂O₃基板上M2相VO₂薄膜の結晶成長」, 2018年日本表面真空学会学術講演会 講演要旨集, 1P40, p. 74.

福住達郎, 陳飛, 伊藤大樹, 児島永悟, 沖村邦雄　「液相化学合成法による高 pH 条件下での酸化亜鉛ナノロッド形状の成長時間依存性」, 2018年日本表面真空学会学術講演会 講演要旨集, 2P51, p. 148.

(左)沖村教授、修士2年(松岡君、青戸君、星野君) (右)発表者 福住君

学会ニュース

2018年11月13～11月15日に名古屋大学東山キャンパスで開催されたThe 40th International Symposium on Dry Process (DPS 2018) に修士課程1年の諏訪君、戸部君がポスター発表を行い、多くの来場者と活発な議論を行いました。

T. Suwa, T. Nakamura and K. Okimura 「 Effects of He gas addition on the growth of transparent conductive Al-doped ZnO films in radio frequency magnetron sputtering」, Proceedings of 40th International Symposium on Dry Process, P-61, pp. 171-172.

R. Tobe, K. Okimura and Md. Suruz Mian 「Self-oscillation properties of M2-phase VO₂ film grown on conductive ITO by ICP-assisted sputtering」, Proceedings of 40th International Symposium on Dry Process, P-76, pp. 201-202.

発表者 諏訪君

論文ニュース

修士課程2年の星野君が第1著者の研究論文がSolar Energy Materials and Solar Cells誌に掲載されました。バナジウム酸化膜の絶縁体-金属転移(IMT)に基づく赤外光スイッチングを40～50℃程度まで低温化することに成功した成果を纏めたものです。本研究は産総研との共同研究成果です。

Hiroaki Hoshino, Kunio Okimura, Iwao Yamaguchi, Tetsuo Tsuchiya, Infrared-light switching in highly oriented VO₂ films on ZnO-buffered glasses with controlled phase transition temperatures, Solar Energy Materials and Solar Cells, Vol. 191, pp. 9-14 (6pages) (2019).

研究室ニュース～建学祭で研究室展示しました～

2018年11月1日(木)～3日(土)にかけて建学祭が行われ、当研究室は透明導電膜（ITOとAZO）をテーマに出展しました。中でも、透明導電膜付きガラスの上を走る電車や膜当てゲームはご来場いただいた多くの方に興味を持っていただき、当研究室を知って頂けるきっかけになったものと思います。また、電気電子工学科の展示は優秀賞を受賞しました。

集合写真 (右下:ITO膜上を走る電車)

学会ニュース

2018年9月18～9月21日に名古屋国際会議場で開催された第79回応用物理学会秋季学術講演会において、修士課程2年の松岡君が口頭発表を行いました。複数の質問があり有益な議論となりました。また、修士課程2年の青戸君、1年の戸部君、福住君がポスター発表を行い、多くの来場者との活発な議論を行いました。 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

松岡 耕平, 沖村 邦雄 「Si (100)基板上への配向VO₂薄膜の成長-初期過酸化相成長後の基板バイアス印加スパッタ成膜法-」

青戸 智寛, 戸部 龍太, 沖村 邦雄, ムスタファ ザグリウィ, 坂井 穣 「相転移VO₂の金属状態間を推移する発振現象(2)」

戸部 龍太, 沖村 邦雄, モハメッド シュルズ ミヤ 「ITO上にICP支援スパッタ成長したM2相VO₂薄膜の電気的特性」

福住 達郎, 伊藤 大樹, 児島 永悟, 陳 飛, 星野 寛明, 沖村 邦雄 「ZnOナノロッド/glass上へのVO₂薄膜堆積と光学特性」

タイ王国モンクット王工科大学(KMITL)から留学生が来訪しラボトレーニングを行いました

　東海大学と提携を結んでいるタイのモンクット王ラカバン工科大学(KMITL:King Mongkut’s Institute of Technology Ladkrabang)の学部生がラボトレーニングプログラムにより本学に留学しました。今回、KMITLから東海大学に来た23名の学生の内、沖村研究室ではMungnimit Nutthanut(Blues)君が活動に加わりました。本研究室で扱っているAZO(Alドープ酸化亜鉛)薄膜について4端子法を用いた抵抗率測定やホール効果測定などを行い、主に電気的特性を評価しました。そして最終日の7月6日にそれらの結果をまとめ、発表しました。滞在中は研究室メンバーといっしょに昼食を取ったり交流を深めました。Blues君の今後の活躍を期待しています。

CCMR 国際会議2018 (Incheon/Seoul)で沖村教授が招待講演を行いました

　韓国・仁川市において6/25～29 の日程で開催されたCollaborative Conference on Materials Research (CCMR) 2018 国際会議において、6 月 28 日に沖村教授が招待講演を行いました。講演題目は「Self-oscillation of Vanadium Dioxide Films grown on Conductive TiN Layers」であり、酸化物(VO₂)薄膜において温度変化に伴う絶縁体－金属転移を繰り返す発振現象に関する内容を纏めたものです。入力の時間積分に依存する発振現象は、新規のニューロモルフィックコンピューティング素子への適用も期待されており、15 MHzの高周波発振の実現は参加者の注目を集めました。聴講者からは発振の時間安定性や周波数の制御性などに関する質問が寄せられました。研究室では今後も更に研究発展を目指して活動していきます。

研究室ニュース

12名の新しい卒研生が研究室に加わりました。今後、グループ毎に卒研テーマに取り組んで行きます。

　　　　　　　　　　　

～平成29年度 学部卒業式～

2018年3月25日に学部の卒業式が行われ、学部生10人が卒業しました。おめでとうございます！

　　　　

～平成29年度 修士卒業式～

2018年3月24日に修了式が行われ、修士2人が修了しました。おめでとうございます！

　　

～学会発表ニュース～

2018年3月17～3月20日に西早稲田キャンパス・ベルサール高田馬場で開催された第65回応用物理学会春季学術講演会に修士課程1年の青戸君、星野君、および学部4年の戸部君がポスター発表を行い、多くの来場者との活発な議論を行いました。また、修士課程1年の松岡君は口頭発表を行いました。

青戸 智寛, 沖村 邦雄, 「TiN(111) 配向基板の導入による相転移VO₂薄膜の配向成長と粒界拡散効果 」

星野 寛明, 福住 達郎, 佐藤 賢太, 沖村 邦雄, 山口 巖, 土屋 哲男, 「高周波基板バイアススパッタ法により転移温度を低下させたZnO/glass上VO₂薄膜の光学特性 」

戸部 龍太, 青戸 智寛, 北川 陽介, 間宮 圭亮, 沖村 邦雄, 「TiN導電層上VO₂薄膜における自励発振特性の電極探針荷重依存性 」

松岡 耕平, 沖村 邦雄, 「Al₂O₃ (001)基板上(011)配向VO₂薄膜の成長とM2相を経由する構造相転移 」

発表者 戸部君

論文ニュース

修士課程1年の青戸君が第1著者で修士課程2年の佐藤君が第2著者の研究論文がJ. Alloys and Compounds誌に掲載されました。

Tomohiro Aoto, Kenta Sato, Md. Suruz Mian, and Kunio Okimura, Impact of (111)-oriented TiN conductive layers for the growth of vanadium dioxide films and the effect of grain boundary diffusions, J. Alloys and Compounds, Vol. 748, pp. 87-92 (6pages) (2018).

論文ニュース

修士課程2年の佐藤君が第1著者で修士課程1年の星野君が第2著者の研究論文がThin Solid Films誌に掲載されました。

Kenta Sato, Hiroaki Hoshino, Md. Suruz Mian, and Kunio Okimura, Low-temperature growth of VO₂ films on transparent ZnO/glass and Al-doped ZnO/glass and their optical transition properties, Thin Solid Films, Vol. 651, pp. 91-96 (6pages) (2018).

　　　　　　　　　　　

～平成29年度卒論発表会～

2018年2月14日に卒論発表会が開催され、学部生10人が卒論発表を無事に終えました。沖村研究室で学んだことは困難を乗り越える上で役に立つはずです。写真は卒論発表会の後に開催された謝恩会にて撮影しました。

～平成29年度修士論文発表会～

2018年2月6日に修士論文発表会が開催され、佐藤君と譲原君の2名が無事に発表を終えました。お疲れさまでした！修士論文のタイトルを以下に記載します。

譲原一樹：RFマグネトロンスパッタ法によるAlドープZnO薄膜堆積に関する研究

佐藤賢太：酸化亜鉛層導入によるガラス基板上への二酸化バナジウム薄膜の低温成長に関する研究

～バンクーバー留学便り～M1星野君より

修士課程1年の星野寛明君はカナダのバンクーバーにあるBritish Columbia大学に1/28より1か月間の短期留学中です。東海大学の留学制度を利用したものです。以下に星野君から届いたコメントを記載します。

～バンクーバー滞在記～

カナダと言えば、メープルやウィンタースポーツのイメージが強くとても寒い国と思う方が多いと思います。内陸は氷点20℃近くまで下がりますが、私が留学してるバンクーバーは海沿いの町で気温は東京とさほど変わりません。しかし冬の時期はほぼ毎日雨なので、旅行で訪れるならば他の季節がいいでしょう。また、皆さんマイボトルを持ち歩いてコーヒーを楽しんでおり、日本と全然ちがうとつくづく実感します。少しでも何かを得られるように挑戦していきたいと思っています。以上、バンクーバーからでしたっ！

学会発表ニュース

大学院生が日本真空学会SP部会でISSP受賞講演をしました　

12月14日（木）に機械振興会館において開催された日本真空学会SP部会定例会において，修士課程1年次の星野寛明君がISSP国際会議のポスター賞受賞記念講演をしました．15分間の講演の後に5分間の質疑応答がありました．企業を中心とする35名の参加者の前で，透明導電膜であるAlドープZnOバッファー層上に本研究室独自のICP支援スパッタ法を適用して250℃の低温で良好な転移特性を有するVO2薄膜成長の成果を報告しました．VO2薄膜の転移温度の低温化も進んでおり，今後スマートウィンドウ等光学材料への応用が期待されます．尚、本研究は修士課程２年次の佐藤賢太君、研究室OBのシュルズ博士、安森先生との共同研究成果です。講演題目(ISSP発表と同一)と著者は以下の通りです．

H. Hoshino, K. Sato, M.S. Mian, Y. Yasumori, and K. Okimura「Growth of VO₂ thin films on transparent conductive Al-doped ZnO films on glass substrates」(Poster Award in ISSP2017).

研究室ニュース ～建学祭で研究室展示しました～

2017年11月1日(水)～3日(金)にかけて建学祭が開催されました。当研究室は透明導電膜(AZOとITO)で作ったレール上を走る列車と透明導電膜スイッチを使ったおもちゃ等を出展しました。透明導電膜は本研究室で成膜したものを使用しています。透明導電膜であるAZOは昨年度から新しく研究を進めてきたものであり、良好な導電性が得られています。電気電子工学科の展示は最優秀賞を受賞しています。

　　　　　　　　　　　

論文ニュース

～JVSTAの論文がEditor's Pickに選ばれました～

ヌル― ハニス アズハン氏と松岡耕平君の研究論文がJournal of Vacuum Science & Technology A誌のEditor's Pickに選ばれました。掲載から2か月で既に350 downloads以上を記録しています。

論文掲載ページ

研究室ニュース

2017年9月5～9月8日に開催された第78回応用物理学会秋季学術講演会において修士課程1年の青戸 智寛君がポスター賞を受賞した件について、大学院のFacebookページに掲載されました。

東海大学大学院Facebookページ

論文ニュース

ヌル― ハニス アズハン氏(2016年度博士課程修了生)が筆頭著者で修士1年の松岡耕平君が共著の研究論文がJournal of Vacuum Science & Technology A誌に掲載されました。

Nurul Hanis Azhan, Kunio Okimura, Kohei Matsuoka, Mustapha Zaghrioui, and Joe Sakai, Recrystallization of VO₂ films into (011)-oriented micrometer-sized grains on Al₂O₃ (001) in biased reactive sputtering, J. Vac. Sci. Technol. A, Vol. 35, 061508 (9pages) (2017).

学会発表及び受賞ニュース

2017年9月5～9月8日に福岡国際会議場・福岡国際センター・福岡サンパレスで開催された第78回応用物理学会秋季学術講演会に修士課程2年の佐藤賢太君、譲原一樹君および修士課程1年の青戸智寛君、星野寛明君と松岡耕平君がポスター発表を行い、多くの来場者との活発な議論を行いました。
当講演会において、青戸君の発表はポスター賞を受賞しました！

松岡 耕平, ヌルー ハニス アズハン, 沖村 邦雄, 「基板バイアス印加スパッタ法を用いたVO₂薄膜の再結晶化に関する研究」

佐藤 賢太, 星野 寛明, 青戸 智寛, モハメッド シュルズ ミヤ, 沖村 邦雄, 「導電性酸化亜鉛上へのVO₂薄膜の低温成長と転移特性評価」

星野 寛明, 佐藤 賢太, 沖村 邦雄, 「高周波基板バイアス法によるZnO/glass基板上VO₂薄膜の転移温度の低温化」

青戸 智寛, 沖村 邦雄, 「相転移VO₂における金属的状態間を遷移する発振現象」(Poster Award)

譲原 一樹, 佐藤 賢太, 星野 寛明, 沖村 邦雄, 安森 偉郎, 「Al-doped ZnO薄膜の低温成長におけるマグネトロン磁場強度の影響」

ポスター賞受賞 発表者 青戸君

学会ニュース

2017年8月28～9月1日に京都大学(吉田キャンパス)でInternational Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)が開催され、修士課程1年の青戸智寛君と修士課程2年の佐藤賢太君がポスター発表を行いました。
ヌルー ハニスさん(2016年度博士課程修了生、クアラルンプール大学(Universiti Kuala Lumpur)所属)も参加され、共同研究成果の発表が行われました。

Tomohiro Aoto, Kenta Sato, Md. Suruz Mian, Kunio Okimura, 「Self-oscillation characteristics of oriented VO₂ films on conductive TiN/Ti layers」

Kenta Sato, Hiroaki Hoshino, Md. Suruz Mian, Kunio Okimura, Yoshio Yasumori, 「Electrical and optical properties of VO₂ films deposited on conductive Al:ZnO layer」

Nurul Hanis Azhan, Kunio Okimura, Kohei Matsuoka, Mustapha Zaghrioui, Joe Sakai, 「Ion-assisted recrystallization phenomena and the growth of μm-sized grains of VO₂ films in biased sputtering」

学会ニュース

2017年8月17～19日に横浜市立大学金沢八景キャンパスで開催された2017年真空・表面科学合同講演会(第37回表面科学学術講演会・第58回真空に関する連合講演会) において、修士課程1年生の青戸君と、同じく修士課程1年生の松岡君がポスター発表を行いました。

青戸 智寛, 沖村 邦雄;「細線状TiN電極上へのVO₂薄膜の堆積と面直方向絶縁体－金属転移特性」

松岡 耕平, 沖村 邦雄;「高周波基板バイアス印加スパッタ法におけるVO₂薄膜成長へのイオン照射効果」

左松岡君、右青戸君

受賞ニュース

2017年7月5～7月7日に金沢工業大学でThe 14th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes(ISSP 2017)において、修士課程1年の星野君、修士課程2年の佐藤君のポスター発表がポスター賞を受賞しました！大学のホームページとISSP2017のホームページにも記載されています。

大学HP ISSP2017HP 　　　　　　　　　　　　　　　

研究室ニュース

研究室に研究員の中村さんが新しくメンバーに加わりました。

学会ニュース

2017年7月5～7月7日に金沢工業大学でThe 14th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes(ISSP 2017)が開催され、修士課程1年の星野寛明君、青戸智寛、松岡耕平君が3件のポスター発表を行いました。
当講演会において星野君の発表はポスター賞を受賞し、実行委員長から表彰状が授与されました。

H. Hoshino, K. Sato, M.S. Mian, Y. Yasumori, and K. Okimura「Growth of VO₂ thin films on transparent conductive Al-doped ZnO films on glass substrates」(Poster Award)

T. Aoto, K. Sato, M.S. Mian, and K. Okimura「Oriented growth of VO₂ thin films on conductive TiN/Ti layers and thiir self-oscillations phenomena」

K. Matsuoka, N.H. Azhan, and K. Okimura 「Crystallinity enhancement and recrystallization of VO₂ thin films during biased reactive sputtering」

ポスター賞受賞 発表者 星野君(写真中央)

受賞ニュース

2017年3月14～3月17日にパシフィコ横浜(横浜国際平和会議場)開催された第64回応用物理学会春季講演会において、修士課程1年(発表当時学部4年)の青戸君、修士課程2年(発表当時修士1年)の佐藤君のポスター発表がポスター賞を受賞しました！大学ホームページのニュースにも記載されています。

東海大学HP

研究室ニュース

2017年6月5日～6日にオープンラボを開催しました。学部3年生に相転移材料の特性測定やスパッタ装置を見学して頂きました。他にも列車模型の線路に透明導電膜を用いたものを披露しました(写真は左: 田中君、右: 諏訪君です)。

論文ニュース

2016年9月に博士課程を修了したシュルズ氏が筆頭著者の研究論文がThin Solid Films誌に掲載されました。(2017年5月19日Elsevier)　本研究は機械工学科の神崎先生との共同研究として実施した成果です。

Md. Suruz Mian, Kunio Okimura, and Masao Kohzaki, Comparative study of TiN and TiN/Ti as bottom electrodes for layered type devices with phase transition VO₂ films, Thin Solid Films, Vol. 636, pp 63-69 (2017)

研究室ニュース

10人の新しい卒研生が研究室に加わりました!

研究室ニュース

2017年3月24日に博士課程のヌル― ハニス アズハン氏が博士課程を修了し、博士(工学)の学位を授与されました。おめでとうございます！

学会ニュース

2017年3月14～3月17日にパシフィコ横浜(横浜国際平和会議場)で第64回応用物理学会春季講演会が開催され、学部生の松岡耕平君が口頭発表を行いました。
学部生の青戸智寛君および修士課程の佐藤賢太君と譲原一樹君が3件のポスター発表を行いました。
その中で青戸君・佐藤君の発表はポスター賞を受賞しました！

松岡 耕平, アルムタイリA, アメリカリッド, ヌルー ハニス アズハン, 沖村 邦雄;「基板バイアス印加スパッタ法における再結晶化現象とμmサイズVO₂結晶粒成長」

青戸 智寛, 佐藤 賢太, モハメッド シュルズ ミヤ, 沖村 邦雄;「VO₂/TiN/Ti/Si積層構造デバイスにおけるマルチステップ発振」(Poster Award)

佐藤 賢太, 星野 寛明, モハメッド シュルズ ミヤ, 沖村 邦雄, 安森偉郎;「AlドープZnO透明導電膜上へのVO₂の積層堆積と転移特性評価」

譲原 一樹, 佐藤 賢太, 星野 寛明, 沖村 邦雄, 安森偉郎;「基板バイアス印加スパッタ法によるAl-doped ZnO薄膜の低温成長に関する研究」

ポスター賞受賞 発表者の青戸君

学会ニュース

2016年12月19～12月22日に横浜市開港記念会館他で開催された第26回日本MRS年次大会において、修士課程1年生の佐藤賢太君がポスター発表を行いました。

Kenta Sato, Hiroaki Hoshino, Md. Suruz Mian, Kunio Okimura;「Low temperature growth of VO₂ films on ZnO/glass and their phase transition properties (ZnO/glass上へのVO₂薄膜低温成長と転移特性評価)」

学会ニュース

2016年11月29～12月1日に名古屋国際会議場で2016年真空・表面科学合同講演会が開催され、修士課程1年生の譲原一樹君と佐藤賢太君、学部生の星野寛明君、青戸智寛君、松岡耕平君の5名が参加し、4件のポスター発表を行いました。
また沖村教授も「オーガナイズドセッション：スパッタリング成膜技術の新展開」において講演を行いました。

譲原 一樹, 沖村 邦雄;「バイアス印加スパッタ法によるZnO薄膜の配向制御に関する研究」

青戸 智寛, 田邊 裕大, 中村 拓哉, 佐藤 賢太, モハメッド シュルズ ミヤ, 沖村 邦雄;「導電性TiN層上への相転移VO₂薄膜の配向成長と転移特性評価」

松岡 耕平, アルムタイリA, アメリカリッド, ヌルー ハニス アズハン, 沖村 邦雄;「サファイア基板上VO₂薄膜成長における巨大ドメイン結晶成長に関する研究」

星野 寛明, 佐藤 賢太, モハメッド シュルズ ミヤ, 沖村 邦雄;「反応性スパッタ法によるガラス基板上へのZnO及びVO₂薄膜の積層堆積」

研究室ニュース

2016年11月1日から3日にかけて建学祭が開催されました。当研究室は電気電子工学科ブースにおいて、透明導電性材料のZnOの上を走る鉄道模型や、透明導電性材料ITOを用いた電子工作の展示を行いました。

研究室ニュース

2016年9月21日に博士課程のモハメッドシュルズミヤ君が博士(工学)の学位を授与されました。研究活動6年間の努力が実りました。おめでとうございます！

学会ニュース

2016年9月12～16日に朱鷺メッセ(新潟コンベンションセンター)で開催された第77回応用物理学会秋季学術講演会において、修士課程1年生の佐藤賢太君が口頭発表と、同じく修士課程1年生の譲原一樹君がポスター発表を行いました。

佐藤 賢太, 星野 寛明, モハメッド シュルズ ミヤ, 沖村 邦雄;「ZnO上への反応性スパッタ法によるVO₂薄膜の低温成長と特性評価」

譲原 一樹, 沖村 邦雄;「基板バイアス印加スパッタ法によるZnO薄膜の配向制御」

論文ニュース

2016年3月に修士課程を修了した蘇魁君が筆頭著者の研究論文がThin Solid Films誌に掲載されました。(2016年7月30日Elsevier)　本研究は応用化学科の樋口研究室との共同研究として実施した成果です。

Kui Su, Takuya Naka, Nurul Hanis Azhan, Kunio Okimura, and Masashi Higuchi, Oriented Growth of VO₂(B) Thin Films on Mo Foils by Reactive Sputtering for Lithium Ion Batteries, Thin Solid Films, Vol. 616 (2016) pp. 95-100.